集成光路：(日)西原浩等著；梁瑞林譯
發(fā)布時間：2024-05-30
本書系統(tǒng)地介紹了光波導及其調(diào)制理論、光波導制作技術及檢測技術、集成電路的精細加工技術等，并收錄了集成光路實例。
附件：